簡要描述:橢圓偏振法測量的原理很早就已提出 ,相應(yīng)的測試方法和設(shè)備也不斷地被改進和創(chuàng)新 ,使得橢圓偏振法成為重要的測試手段 ,廣泛地應(yīng)用在光學、材料、生物、醫(yī)學等各個領(lǐng)域〔1〕.其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法Z基本、也是非常重要的應(yīng)用之一
技術(shù)參數(shù):
測量范圍:1nm~4000nm;
測量zui小值:≤1nm;
鍍膜折射率范圍:1.300 ~ 10.000
入射角:40°~90° 誤差≤0.05°
偏振器方位角讀數(shù)范圍:0°~180°
偏振器步進角:0.0375°/步
測量精度:在10nm處誤差為±0.5nm
光學中心高度:75mm
允許樣品尺寸直徑:φ10mm~φ120mm
厚度:≤10mm
儀器特點:
儀器采用消光式橢圓偏振方式測量,具有精度高、自動控制等特點
光源采用氦氖激光,波長精度高
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式,適用于
不同需要,同時軟件有完整版及學生版兩種版本,適于教學要求。
成套性:
主機,USB線,軟件(需配計算機)